(19) 대한민국특허청(KR)
(12) 등록특허공보(B1)
(45) 공고일자 2011년09월28일
(11) 등록번호 10-1067737
(24) 등록일자 2011년09월20일
(51) Int. Cl.
H01L 21/302 (2006.01) G02F 1/13 (2006.01)
(21) 출원번호 10-2009-0069535
(22) 출원일자 2009년07월29일
심사청구일자 2009년07월29일
(65) 공개번호 10-2011-0012016
(43) 공개일자 2011년02월09일
(56) 선행기술조사문헌
JP2006192360 A*
KR1020070107597 A
KR1020090051735 A
*는 심사관에 의하여 인용된 문헌
(73) 특허권자
김현희
경기도 화성시 향남읍 행정리 494 향남시범살구꽃
마을 한일베라체아파트 1306-401
(72) 발명자
김현희
경기도 화성시 향남읍 행정리 494 향남시범살구꽃
마을 한일베라체아파트 1306-401
(74) 대리인
황성택
전체 청구항 수 : 총 2 항 심사관 : 나용수
(54) 평판 디스플레이 세정용 이류체 분사장치
(57) 요 약
본 발명은 LCD, PDP 등 여러가지 평판 디스플레이(PFD ; flat panel display)를 세정하기 위해 공기와 함께 세
정액을 분사하는 평판 디스플레이 세정용 이류체 분사장치에 관한 것이다.
본 발명에 따른 평판 디스플레이 세정용 이류체 분사장치는 세정액 공급포트(103)가 장착된 좌측 플레이트(110)
와 공기공급포트(105)가 장착된 우측 플레이트(120) 사이에 중간 플레이트(130)가 배치되고, 좌측 플레이트(11
0)와 중간 플레이트(130)에 의해 세정액 완충챔버(BC) 및 혼합챔버(MC)가 형성되며, 세정액 완충챔버(BC)와 혼합
챔버(MC) 사이에 안내슬릿(GS)이 형성되어, 상기 세정액 완충챔버(BC)의 세정액이 안내슬릿(GS)을 통해 혼합 챔
버(MC)로 공급되고, 혼합 챔버(MC)의 하단에 분사슬릿(JS)이 형성되고, 우측 플레이트(120)와 중간 플레이트
(130)에 의해 에어 챔버(AC)가 형성되고, 중간 플레이트(130)의 하단부에 사선으로 형성된 에어 유도로(AG)에 의
해 에어 챔버(AC)와 혼합 챔버(MC)가 연결됨으로써, 혼합 챔버(MC)에서 에어에 의해 세정액이 미립화되고, 혼합
챔버(MC)에서 세정액과 에어가 혼합된 이류체가 분사슬릿(JS)을 통해 분사되는 것을 특징으로 한다.
대 표 도 - 도4
등록특허 10-1067737
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특허청구의 범위
청구항 1
세정액 공급포트(103)가 장착된 좌측 플레이트(110)와 공기공급포트(105)가 장착된 우측 플레이트(120) 사이에
중간 플레이트(130)가 배치되고, 좌측 플레이트(110)와 중간 플레이트(130)에 의해 세정액 완충챔버(BC) 및 혼
합챔버(MC)가 형성되며, 세정액 완충챔버(BC)와 혼합 챔버(MC) 사이에 안내슬릿(GS)이 형성되어, 상기 세정액
완충챔버(BC)의 세정액이 안내슬릿(GS)을 통해 혼합 챔버(MC)로 공급되고, 혼합 챔버(MC)의 하단에 분사슬릿
(JS)이 형성되고, 우측 플레이트(120)와 중간 플레이트(130)에 의해 에어 챔버(AC)가 형성되고, 중간 플레이트
(130)의 하단부에 사선으로 형성된 에어 유도로(AG)에 의해 에어 챔버(AC)와 혼합 챔버(MC)가 연결됨으로써, 혼
합 챔버(MC)에서 에어에 의해 세정액이 미립화되고, 혼합 챔버(MC)에서 세정액과 에어가 혼합된 이류체가 분사
슬릿(JS)을 통해 분사되며
상기 중간 플레이트(130)는 좌측 플레이트(110)와 같은 크기의 직사각형으로 형성되고, 하단부에 사선으로 에어
유도로(AG)가 장방향으로 형성되고, 에어 유도로(AG)의 하단에 토출구(131)가 형성되어, 토출구(131)에서 압축
공기가 혼합챔버(MC)로 분출되며, 상단, 중간 및 하단에 다수개의 볼트구멍(132, 133, 134)이 형성되는 것을 특
징으로 하는 평판 디스플레이 세정용 이류체 분사장치.
청구항 2
삭제
청구항 3
삭제
청구항 4
세정액 공급포트(103)가 장착된 좌측 플레이트(110)와 공기공급포트(105)가 장착된 우측 플레이트(120) 사이에
중간 플레이트(130)가 배치되고, 좌측 플레이트(110)와 중간 플레이트(130)에 의해 세정액 완충챔버(BC) 및 혼
합챔버(MC)가 형성되며, 세정액 완충챔버(BC)와 혼합 챔버(MC) 사이에 안내슬릿(GS)이 형성되어, 상기 세정액
완충챔버(BC)의 세정액이 안내슬릿(GS)을 통해 혼합 챔버(MC)로 공급되고, 혼합 챔버(MC)의 하단에 분사슬릿
(JS)이 형성되고, 우측 플레이트(120)와 중간 플레이트(130)에 의해 에어 챔버(AC)가 형성되고, 중간 플레이트
(130)의 하단부에 사선으로 형성된 에어 유도로(AG)에 의해 에어 챔버(AC)와 혼합 챔버(MC)가 연결됨으로써, 혼
합 챔버(MC)에서 에어에 의해 세정액이 미립화되고, 혼합 챔버(MC)에서 세정액과 에어가 혼합된 이류체가 분사
슬릿(JS)을 통해 분사되며
상기 우측 플레이트(120)는 중간 플레이트(130)에 대응되는 내측면의 둘레에 실링(sealing)을 위한 패킹이 장착
되는 패킹홈(121)이 형성되고, 패킹홈(121)의 안쪽에 에어챔버(AC)를 위한 제 3 홈(122)이 장방형의 사각형 형
태로 형성되는 것을 특징으로 하는 평판 디스플레이 세정용 이류체 분사장치.
명 세 서
발명의 상세한 설명
기 술 분 야
본 발명은 LCD, PDP 등 여러가지 평판 디스플레이(PFD ; flat panel display)를 세정하기 위해 공기와 함께 세[0001]
정액을 분사하는 평판 디스플레이 세정용 이류체 분사장치에 관한 것으로서, 보다 상세하게는 세정액 완충챔버
의 세정액이 장방향으로 길게 형성된 안내슬릿을 통해 장방향으로 길게 형성된 혼합 챔버로 공급되어, 혼합 챔
버로 세정액이 균일하게 공급되고, 에어가 장방향으로 길게 형성된 에어 유도로를 통해 혼합 챔버로 균일하게
공급되어, 에어에 의해 세정액이 미립화되고, 혼합 챔버에서 세정액과 에어가 혼합된 이류체가 분사슬릿을 통해
균일한 분포와 힘으로 분사되는 평판 디스플레이 세정용 이류체 분사장치에 관한 것이다.
배 경 기 술
등록특허 10-1067737
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대한민국 특허 제10-0846575호(2008년 7월 10일, 등록)에 "평판 디스플레이 글라스 세정용 이류체 분사장치"가[0002]
소개되어 있다.
상기 평판 디스플레이 글라스 세정용 이류체 분사장치는 공기 공급원으로부터 공기가 유입되는 공기 버퍼 탱크;[0003]
세정액 공급원으로부터 세정액이 유입되는 세정액 버퍼 탱크; 상기 공기 버퍼 탱크와 연결되어 공기가 배출되는
다수의 공기 배출 라인; 상기 세정액 버퍼 탱크와 연결되어 세정액이 배출되는 다수의 세정액 배출 라인; 상기
공기 배출 라인의 출구와 세정액 배출 라인의 출구가 만나는 곳에 형성되어 있으며, 공기와 세정액이 외부로 분
사되는 다수의 배출구; 및 상기 다수의 배출구로 분사된 공기와 세정액이 슬릿부 내부에서 혼합되고 슬릿부 외
부로 1자 슬릿형태로 분사되기 위한 슬릿부를 포함한다.
도 1을 참조하면, 그러나, 상기와 같은 종래의 평판 디스플레이 글라스 세정용 이류체 분사장치는 구멍 형태의[0004]
세정액 출구(3)가 중간판(5)에 일정한 간격으로 형성되고, 세정액 출구(7)에서 배출되는 세정액이 역원뿔형으로
형성된 공기배출라인(7)의 출구에서 합류되도록 되어 있어, 비록 세정액 출구의 하부에 슬릿부(9)가 형성되어,
슬릿부(9)에 의해 공기와 세정액이 혼합된 이류체가 슬릿부에서 일자형태로 분사된다고 하지만, 세정액 출구
(3)의 직하부로 분사되는 세정액의 압력이 세정액 직하부를 벗어난 부위보다 더 강하게 됨으로써, 도 2에 도시
된 바와같이, 평판 디스플레이 기판(10)에 줄(11 ; 얼룩)이 형성되는 단점이 있다.
발명의 내용
해결 하고자하는 과제
따라서, 본 발명의 목적은 세정액 완충챔버의 세정액이 장방향으로 길게 형성된 안내슬릿을 통해 장방향으로 길[0005]
게 형성된 혼합 챔버로 공급되어, 혼합 챔버로 세정액이 균일하게 공급되고, 에어가 장방향으로 길게 형성된 에
어 유도로를 통해 혼합 챔버로 균일하게 공급되어, 에어에 의해 세정액이 미립화되고, 혼합 챔버에서 세정액과
에어가 혼합된 이류체가 분사슬릿을 통해 균일한 분포와 힘으로 분사됨으로써, 디스플레이 기판을 세정하게 되
고, 세정된 디스플레이 기판에 줄(얼룩)이 발생하는 것을 방지할 수 있어, 최종 세정장치로 사용할 수 있는 평
판 디스플레이 세정용 이류체 분사장치에 관한 것이다.
과제 해결수단
상기와 같은 목적을 달성하기 위한 본 발명에 따른 평판 디스플레이 세정용 이류체 분사장치는 세정액 공급포트[0006]
가 장착된 좌측 플레이트와 공기공급포트가 장착된 우측 플레이트 사이에 중간 플레이트가 배치되고, 좌측 플레
이트와 중간 플레이트에 의해 세정액 완충챔버 및 혼합챔버가 형성되며, 세정액 완충챔버와 혼합 챔버 사이에
안내슬릿이 형성되어, 상기 세정액 완충챔버의 세정액이 안내슬릿을 통해 혼합 챔버로 공급되고, 혼합 챔버의
하단에 분사슬릿이 형성되고, 우측 플레이트와 중간 플레이트에 의해 에어 챔버가 형성되고, 중간 플레이트의
하단부에 사선으로 형성된 에어 유도로에 의해 에어 챔버와 혼합 챔버가 연결됨으로써, 혼합 챔버에서 에어에
의해 세정액이 미립화되고, 혼합 챔버에서 세정액과 에어가 혼합된 이류체가 분사슬릿을 통해 분사되는 것을 특
징으로 한다.
상기 좌측 플레이트는 중간 플레이트에 대응되는 내측면의 둘레에 실링(sealing)을 위한 패킹이 장착되는 패킹[0007]
홈이 형성되고, 상기 패킹홈의 안쪽에 세정액 완충챔버를 위한 제 1 홈이 장방형의 사각형 형태로 형성되고, 제
1 홈의 중앙에 형성된 세정액 공급구멍이 형성되고, 상기 제 1 홈에 볼트구멍이 형성된 다수개의 보스가 일렬로
형성되고, 상기 제 1 홈의 하부에 혼합챔버를 위한 제 2 홈이 장방향으로 길게 형성되고, 제 1 홈과 제 2 홈 사
이에 배치되는 제 1 가이드면이 안내슬릿의 형성을 위해 내측면보다 소정의 간극이 만큼 낮은 높이로 형성되고,
제 2 홈의 하단에 형성되는 제 2 가이드면이 분사슬릿을 위해 내측면보다 소정의 간극이 만큼 낮은 높이로 형성
되는 것을 특징으로 한다.
상기 중간 플레이트는 좌측 플레이트와 같은 크기의 직사각형으로 형성되고, 하단부에 사선으로 에어 유도로로[0008]
장방향으로 길게 형성되고, 상기 에어 유도로의 하단에 폭이 좁은 토출구가 형성되어, 토출구에서 압축공기가
강하게 혼합챔버로 분출될 수 있으며, 상단, 중간 및 하단에 다수개의 볼트구멍이 형성되는 것을 특징으로
한다.
상기 우측 플레이트는 중간 플레이트에 대응되는 내측면의 둘레에 실링(sealing)을 위한 패킹이 장착되는 패킹[0009]
홈이 형성되고, 상기 패킹홈의 안쪽에 에어챔버를 위한 제 3 홈이 장방형의 사각형 형태로 형성되고, 상기 제 3
등록특허 10-1067737
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홈의 중앙에 공기공급구멍이 형성되는 것을 특징으로 한다.
효 과
이것에 의해, 본 발명에 따른 평판 디스플레이 세정용 이류체 분사장치는 이류체를 균일하고 강한 타력으로 디[0010]
스플레이 기판을 세정할 수 있고, 세정된 디스플레이 기판에 줄(얼룩)이 발생하는 것을 방지할 수 있어, 최종
세정장치로 사용할 수 있는 효과가 있다.
발명의 실시를 위한 구체적인 내용
이하, 본 발명의 바람직한 실시예를 도면을 참조하여 상세하게 설명하기로 한다.[0011]
도 3 및 도 4를 참조하면, 본 발명에 따른 평판 디스플레이 세정용 이류체 분사장치(100)는 세정액 공급포트[0012]
(103)가 장착된 좌측 플레이트(110)와 공기공급포트(105)가 장착된 우측 플레이트(120) 사이에 중간 플레이트
(130)가 배치되고, 좌측 플레이트(110)와 중간 플레이트(130)에 의해 세정액 완충챔버(BC) 및 혼합챔버(MC)가
형성되며, 세정액 완충챔버(BC)와 혼합 챔버(MC) 사이에 안내슬릿(GS)이 형성되어, 상기 세정액 완충챔버(BC)의
세정액이 안내슬릿(GS)을 통해 혼합 챔버(MC)로 공급되고, 혼합 챔버(MC)의 하단에 분사슬릿(JS)이 형성되고,
우측 플레이트(120)와 중간 플레이트(130)에 의해 에어 챔버(AC)가 형성되고, 중간 플레이트(130)의 하단부에
사선으로 형성된 에어 유도로(AG)에 의해 에어 챔버(AC)와 혼합 챔버(MC)가 연결됨으로써, 혼합 챔버(MC)에서
에어에 의해 세정액이 미립화되고, 혼합 챔버(MC)에서 세정액과 에어가 혼합된 이류체가 분사슬릿(JS)을 통해
분사된다.
도 5를 참조하면, 상기 좌측 플레이트(110)는 중간 플레이트(130)에 대응되는 내측면의 둘레에 실링(sealing)을[0013]
위한 패킹(도시하지 않음)이 장착되는 패킹홈(111)이 형성되고, 상기 패킹홈(111)의 안쪽에 세정액 완충챔버
(BC)를 위한 제 1 홈(112)이 장방형의 사각형 형태로 형성되고, 제 1 홈(112)의 중앙에 형성된 세정액 공급구멍
(113)이 형성되고, 상기 제 1 홈(112)에 볼트구멍이 형성된 다수개의 보스(114)가 일렬로 형성되고, 상기 제 1
홈(112)의 하부에 혼합챔버(MC)를 위한 제 2 홈(115)이 장방향으로 길게 형성되고, 제 1 홈(112)과 제 2 홈
(115) 사이에 배치되는 제 1 가이드면(116)이 안내슬릿(GS)의 형성을 위해 내측면보다 소정의 간극(t)이 만큼
낮은 높이로 형성되고, 제 2 홈(115)의 하단에 형성되는 제 2 가이드면(117)이 분사슬릿(JS)을 위해 내측면보다
소정의 간극(t)이 만큼 낮은 높이로 형성된다.
도 5에서 미설명한 도면부호 118은 볼트구멍이다.[0014]
도 6을 참조하면, 상기 중간 플레이트(130)는 좌측 플레이트(110)와 같은 크기의 직사각형으로 형성되고, 하단[0015]
부에 사선으로 에어 유도로(AG)로 장방향으로 길게 형성되고, 상기 에어 유도로(AG)의 하단에 폭이 좁은 토출구
(131)가 형성되어, 토출구(131)에서 압축공기가 강하게 혼합챔버(MC)로 분출될 수 있으며, 상단, 중간 및 하단
에 다수개의 볼트구멍(132, 133, 134)이 형성된다.
도 7을 참조하면, 상기 우측 플레이트(120)는 중간 플레이트(130)에 대응되는 내측면의 둘레에 실링(sealing)을[0016]
위한 패킹(도시하지 않음)이 장착되는 패킹홈(121)이 형성되고, 상기 패킹홈(121)의 안쪽에 에어챔버(AC)를 위
한 제 3 홈(122)이 장방형의 사각형 형태로 형성되고, 상기 제 3 홈(122)의 중앙에 공기공급구멍(123)이 형성된
다.
도 7에서 미설명한 도면부호 124는 볼트구멍이다.[0017]
상기와 같이 구성된 본 발명에 따른 평판 디스플레이 세정용 이류체 분사장치는 다음과 같이 작동한다.[0018]
세정액 완충챔버(BC)로 공급된 세정액이 장방향으로 길게 형성된 안내슬릿(GS)을 통해 혼합 챔버(MC)로 균일하[0019]
게 공급됨으로써, 세정액이 상기 혼합챔버(MC) 전체에 균일하게 채워질 뿐만 아니라 안내슬릿(GS)에 의해 유속
이 적정 수준으로 감소된다. 그리고, 에어 챔버(AC)의 압축공기가 사선으로 형성된 에어 유도로(AC)를 통해 혼
합 챔버(MC)로 분사됨으로써, 혼합챔버(MC)로의 세정액 공급이 세에어 유도로(AC)에서 분사되는 압축공기에 의
해 간섭되지 않고, 혼합 챔버(AC)에 채워진 세정액이 압축공기에 의해 미립화되며, 세정액과 압축공기가 혼합된
이류체가 분사 슬릿(JS)을 통해 기판(200)으로 분사된다. 이때, 압축공기와 세정액이 혼합된 이류체의 타력가
분사 슬릿(JS)에서 전제적으로 균일하고 강하게 기판(평판 디스플레이)으로 분사됨으로써, 기판을 세정하게 되
등록특허 10-1067737
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고, 세정된 기판에 줄(얼룩)이 발생하는 것을 방지하게 된다.
도 8을 참조하면, 본 발명에 따른 평판 디스플레이 세정용 이류체 분사장치(300)의 다른 예는 좌측 플레이트[0020]
(310)의 형상이 변경되어, 세정액이 공급되는 세정액 공급구멍(315)이 좌측 플레이트(310)의 상부 수평부(311)
에 형성되고, 세정액 완충챔버(BC')가 "ㄱ" 형상으로 형성되는 것을 제외하고, 위에서 설명한 본 발명에 따른
평판 디스플레이 세정용 이류체 분사장치와 동일하다.
도면의 간단한 설명
도 1은 종래의 평판 디스플레이 글라스 세정용 이류체 분사장치에서 공기와 세정액이 혼합된 이류체가 분사되는[0021]
예를 도시한 개략도이다.
도 2는 도 1의 평판 디스플레이 글라스 세정용 이류체 분사장치에 의해 세정된 후, 평판 디스플레이 글라스에[0022]
줄(얼룩)이 형성된 예를 도시한 것이다.
도 3은 본 발명에 따른 평판 디스플레이 세정용 이류체 분사장치를 도시한 사시도이다.[0023]
도 4는 본 발명에 따른 평판 디스플레이 세정용 이류체 분사장치를 도시한 도 3의 A-A선에 따른 단면도이다.[0024]
도 5는 좌측 플레이트를 도시한 것으로서, (가)는 사시도이고, (나)는 (가)의 B-B선에 따른 단면도이다.[0025]
도 6은 중간 플레이트를 도시한 것으로서, (가)는 사시도이고, (나)는 (가)의 C-C선에 따른 단면도이다.[0026]
도 7은 우측 플레이트를 도시한 것으로서, (가)는 사시도이고, (나)는 (가)의 D-D선에 따른 단면도이다.[0027]
도 8은 본 발명에 따른 평판 디스플레이 세정용 이류체 분사장치의 다른 예를 도시한 단면도이다.[0028]
도면
도면1
등록특허 10-1067737
- 5 -
도면2
도면3
등록특허 10-1067737
- 6 -
도면4
등록특허 10-1067737
- 7 -
도면5
등록특허 10-1067737
- 8 -
도면6
등록특허 10-1067737
- 9 -
도면7
등록특허 10-1067737
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도면8
등록특허 10-1067737
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카테고리 없음