(19)대한민국특허청(KR)
(12) 등록특허공보(B1)
(51) 。Int. Cl.
H01L 21/3063 (2006.01)
(45) 공고일자
(11) 등록번호
(24) 등록일자
2007년02월15일
10-0682753
2007년02월08일
(21) 출원번호 10-2005-0067807 (65) 공개번호 10-2007-0013476
(22) 출원일자 2005년07월26일 (43) 공개일자 2007년01월31일
심사청구일자 2005년07월26일
(73) 특허권자 (주)에스티아이
경기 안성시 공도면 양기리 450-5
(72) 발명자 연창흠
경기 안성시 공도읍 진사리 쌍용 스윗닷홈 105동 1902호
곽선표
대구 달서구 대곡동 1012번지 삼성1차아파트 106동 404호
박경식
경기 군포시 금정동 충무주공2단지아파트 201동 2001호
(74) 대리인 최덕규
(56) 선행기술조사문헌
JP2001015469 A
KR1019980029398 A
KR1019980014169 A
KR1020040034128 A
* 심사관에 의하여 인용된 문헌
심사관 : 송현정
전체 청구항 수 : 총 2 항
(54) 식각장치용 대용량 급속 드레인 밸브
(57) 요약
본 발명의 식각장치용 대용량 급속 드레인 밸브('QDD 밸브')는 각각 플랜지에 의하여 결합되도록 헤드부(2)와 하단부(3)
가 상하에 일체로 형성된 하우징(1), 상기 하우징 내부에 위치하여 그 주위가 원통형 주름관(41)에 의하여 밀봉되고 샤프
트(5)의 왕복운동에 의하여 개폐동작을 반복하는 주름관 마개(4), 주입되는 공기에 의하여 샤프트가 왕복운동하기 위한 실
린더(8), 및 샤프트가 왕복운동하여 주름관 마개를 개폐하기 위한 열림 공기주입구(6)와 닫침 공기주입구(7)로 이루어진
다.
대표도
도 1
등록특허 10-0682753
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특허청구의 범위
청구항 1.
플랜지에 의하여 결합되도록 헤드부(2)와 하단부(3)가 상하에 일체로 형성된 하우징(1);
상기 하우징 내부에 위치하여 그 주위가 원통형 주름관(41)에 의하여 밀봉되고 샤프트(5)의 왕복운동에 의하여 개폐동작
을 반복하는 주름관 마개(4);
주입되는 공기에 의하여 샤프트가 왕복운동하기 위한 실린더(8); 및
샤프트가 왕복운동하여 주름관 마개를 개폐하기 위한 실린더 내부로 압축공기를 주입하기 위한 열림 공기주입구(6)와 닫
침 공기주입구(7);
로 이루어지는 것을 특징으로 하는 식각장치용 대용량 급속 드레인 밸브.
청구항 2.
제1항에 있어서, 상기 원통형 주름관은 PTFE 수지로 제조되는 것을 특징으로 하는 식각장치용 대용량 급속 드레인 밸브.
명세서
발명의 상세한 설명
발명의 목적
발명이 속하는 기술 및 그 분야의 종래기술
발명의 분야
본 발명은 반도체나 LCD를 식각하기 위한 식각장치용 대용량 급속 드레인 밸브에 관한 것이다. 보다 구체적으로 본 발명
은 식각장치의 식각 배스(etching bath)나 세정배스(rinse bath)의 하단에 설치되어 식각액이나 세정액을 배스로부터 가
급적 빨리 배출시키기 위한 급속 드레인 밸브(Quick Dump Drain 밸브: 이하 'QDD 밸브')에 관한 것이다.
발명의 배경
식각장치는 반도체나 LCD 글라스를 제조하는 과정에서 이들을 에칭하고, 세정하며, 건조시키기 위하여 널리 사용되고 있
는 장치이다. 식각장치는 크게 3 가지 배스로 구분되는데, 반도체나 LCD 글라스를 넣어서 식각액으로 에칭하기 위한 식각
배스, 에칭된 반도체나 LCD 글라스를 세정액으로 세정하기 위한 세정배스, 그리고 세정된 것을 건조하기 위한 건조배스로
이루어진다.
식각배스나 세정배스는 식각액이나 세정액이 담겨져서 에칭공정이나 세정공액이 완료되면 다음 공정을 위하여 이들 약액
을 모두 드레인시켜야 한다. 사용되었던 약액을 배스로부터 드레인시키기 위하여 이제까지는 통상의 일반적인 밸브를 사
용하여 왔다. 즉 통상의 밸브를 개폐하여 식각공정이나 세정공정에 사용되었던 약액을 드레인하고 있다. 식각장치에 관한
발명은 본 출원인의 특허공개 제1998-30458호 및 제2000-24808호에 개시되어 있다.
일반적인 밸브를 사용하는 종래의 식각장치는 약액이 드레인되는 시간이 길기 때문에 생산성을 저하시키는 등의 문제점이
있다. 사용된 약액을 빨리 드레인시켜 드레인 시간을 단축시킨다면 생산성이나 작업효율은 그만큼 높아지게 된다.
등록특허 10-0682753
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또한 식각배스에서 배출되는 식각액이나 세정배스에서 배출되는 세정액은 슬러지(sludge)를 함유하기 때문에 밸브의 막
힘 현상이나 약액의 누출문제를 해결할 수 있어야 한다.
본 발명자는 상기와 같은 종래의 식각장치 배스에 사용되는 드레인 밸브를 개선하여, 드레인을 빨리 할 수 있고, 약액의 슬
러지로 인한 밸브의 막힘 현상이나 약액의 누출문제를 완벽하게 해결할 수 있는 본 발명의 QDD 밸브를 개발하기에 이른
것이다.
발명이 이루고자 하는 기술적 과제
본 발명의 목적은 식각장치의 식각배스나 세정배스에 설치하여 약액을 빠르게 드레인할 수 있는 식각장치용 대용량 급속
드레인 밸브를 제공하기 위한 것이다.
본 발명의 다른 목적은 식각장치의 약액이 밸브 외부로 누출되지 않고 안전하게 배출될 수 있는 구조를 갖는 QDD 밸브를
제공하기 위한 것이다.
본 발명의 또 다른 목적은 식각장치의 약액의 슬러지로 인하여 밸브가 막히지 않도록 하는 구조를 갖는 QDD 밸브를 제공
하기 위한 것이다.
본 발명의 상기 목적 및 기타의 목적들은 하기 설명되는 본 발명에 의하여 모두 달성될 수 있다.
발명의 구성
발명의 요약
본 발명의 식각장치용 대용량 급속 드레인 밸브는 각각 플랜지에 의하여 결합되도록 헤드부(2)와 하단부(3)가 상하에 일체
로 형성된 하우징(1), 상기 하우징 내부에 위치하여 그 주위가 원통형 주름관(41)에 의하여 밀봉되고 샤프트(5)의 왕복운
동에 의하여 개폐동작을 반복하는 주름관 마개(4), 주입되는 공기에 의하여 샤프트가 왕복운동하기 위한 실린더(8), 및 샤
프트가 왕복운동하여 주름관 마개를 개폐하기 위한 열림 공기주입구(6)와 닫침 공기주입구(7)로 이루어지는 것을 그 특징
으로 한다.
이하 첨부된 도면을 참고로 본 발명의 내용을 하기에 상세히 설명한다.
발명의 구체예에 대한 상세한 설명
본 발명은 반도체나 LCD를 식각하기 위한 식각장치의 식각 배스(etching bath)나 세정배스(rinse bath)의 하단에 설치되
어 식각액이나 세정액을 배스로부터 가급적 빨리 배출시키기 위한 급속 드레인 밸브에 관한 것이다.
제1도는 본 발명에 따른 식각장치의 배스용 QDD 밸브의 개략적인 단면도이고, 제2도는 본 발명의 QDD 밸브가 배스의 하
부에 설치된 개략적인 사시도이다. 제2도에 도시된 바와 같이, 본 발명의 QDD 밸브는 배스(100)의 하부에 직접 연결될 수
도 있고, 배스의 하부에 연결된 드레인 파이프(도시되지 않음)에 연결될 수도 있다. 이러한 연결방법은 본 발명이 속하는
기술분야에서 통상의 지식을 가진 자에 의하여 용이하게 실시될 수 있다.
본 발명의 QDD 밸브는 각각 플랜지(11)에 의하여 결합되도록 헤드부(2)와 하단부(3)가 상하에 일체로 형성된 하우징(1)
과 그 내부에 밸브 부품이 조립된다. 하우징 내부에는 실린더(8)가 위치하고, 그 실린더 내부에는 주입되는 압축공기에 의
하여 샤프트(5)가 왕복운동한다. 샤프트의 단부에는 주름관 마개(4)가 형성되어 샤프트의 왕복운동에 따라 개폐동작을 반
복하게 된다. 주름관 마개의 하부와 샤프트의 상부는 그 주위를 원통형 주름관(41)에 의하여 밀봉되도록 한다.
실린더 내부로 압축공기를 주입시킴으로써 밸브를 개폐하게 된다. 열림 공기주입구(6)를 통하여 압축공기를 실린더 내로
주입시키면 샤프트는 하강하여 주름관 마개가 열리게 되고, 닫힘 공기주입구(7)를 통하여 압축공기를 실린더 내로 주입시
키면 샤프트는 상승하여 주름관 마개가 닫히게 된다. 열림 공기주입구(6)나 닫힘 공기주입구(7)를 통하여 압축공기를 실린
더 내로 주입시키는 콘트롤 시스템은 여기서 별도로 설명하거나 도면에 도시되어 있지 않지만 이러한 제어 시스템은 본 발
명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자에 의하여 용이하게 실시될 수 있다.
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주름관 마개의 하부와 샤프트의 상부 주위를 보호하기 위한 원통형 주름관(41)은 각종 약액에 대한 내성을 가져야 하기 때
문에 PTFE 수지와 같은 테프론 수지로 제조되어야 한다. 이 주름관은 일반적으로 벨로우즈(bellows) 타입의 주름관이 바
람직하게 사용될 수 있다. 이 주름관이 주름관 마개의 하부와 샤프트의 상부 주위를 감싸서 밀봉하기 때문에 식각배스에서
배출되는 식각액이나 세정배스에서 배출되는 세정액의 누출을 예방할 수 있고, 이들 약액의 슬러지가 밸브 내부로 유입되
어 밸브가 고장나는 등의 결점을 예방할 수 있다.
QDD 밸브는 압축공기의 주입에 의하여 밸브의 개폐작동이 순간적으로 이루어지고 식각배스나 세정배스의 하부쪽에 수직
방향으로 설치되어 처리된 약액을 수직 방향으로 배출시킬 수 있기 때문에 배출속도를 그만큼 빠르게 할 수 있다.
또한 본 발명의 QDD 밸브는 배스의 용량에 따라 그 크기를 크게 할 수 있기 때문에 약액의 배출속도를 빠르게 하여 배출시
간을 그만큼 단축시킬 수 있다. QDD 밸브의 크기는 본 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자에 의하여 용이
하게 실시될 수 있다.
본 발명의 QDD 밸브는 배스의 하부쪽에 수직방향으로 배열되기 때문에 슬러지의 배출이 용이하며, 슬러지로 인하여 밸브
나 배관이 막히는 현상을 예방할 수 있다.
배스(100)의 하부에 설치된 QDD 밸브의 하단부(3)에는 드레인 파이프(12)가 플랜지(11)에 의하여 연결되고, 약액은 이를
통하여 필요한 위치로 배출된다.
본 발명의 QDD 밸브는 약액의 배출시간을 빠르게 하여 작업효율을 높일 수 있고, 약액이 밸브 내부로 유출되거나 슬러지
로 인하여 밸브나 배관이 막히는 현상을 예방할 수 있다.
발명의 효과
본 발명은 식각장치의 식각배스나 세정배스에 설치하여 약액을 빠르게 드레인할 수 있고, 식각장치의 약액이 밸브 외부로
누출되지 않고 안전하게 배출될 수 있는 구조를 가지며, 식각장치의 약액의 슬러지로 인하여 밸브가 막히지 않도록 하는
구조를 갖는 QDD 밸브를 제공하는 발명의 효과를 갖는다.
본 발명의 단순한 변형 내지 변경은 이 분야의 통상의 지식을 가진 자에 의하여 용이하게 이용될 수 있으며, 이러한 변형이
나 변경은 모두 본 발명의 영역에 포함되는 것으로 볼 수 있다.
도면의 간단한 설명
제1도는 본 발명에 따른 식각장치용 대용량 급속 드레인 밸브의 개략적인 단면도이다.
제2도는 본 발명의 드레인 밸브가 배스의 하부에 설치된 개략적인 사시도이다.
*도면의 주요부호에 대한 간단한 설명*
1 : 하우징 2 : 헤드부
3 : 하단부 4 : 주름관 마개
5 : 샤프트 6 : 열림 공기주입구
7 : 닫힘 공기주입구 11 : 플랜지
12 : 드레인 파이프 100 : 배스(bath)
도면
등록특허 10-0682753
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도면1
도면2
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카테고리 없음